山东净化工程的空间范围的目的和产生的问题

山东净化工程在一定空间范围内，将空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、压

力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内的工程学科。山东净化工程净化工程所特别

设计的房间，不论外在空气条件如何变化，室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能乱流洁净室的主要特点是从来流到出流（从送风口到回风口）之间气流的流通截面是变化的，洁净室截面比送风口截面大得多，因而不能在全室截面或者在全室工作区截面形成匀速气流。所以，送风口以后的流线彼此有很大或者越来越大的夹角，曲率半径很小，气流在室内不可能以单一方向流动，山东净化工程将会彼此撞击，将有回流、旋涡产生。这就决定乱流洁净室的流态实质是：突变流；非均匀流。

在单向流洁净室内，从送风口到回风口，山东净化工程气流流经途中的断面几乎没有什么变化，加上进风静箱和高效过滤器的均压均流作用，全室断面上的流速比较均匀，而至少在工作区内流线单向平行，没有涡流。这也就是单向流洁净室的三大特点。这里的流线单向平行，是指时均流线彼此平行，方向单一，并且干净气流不是一股或几股，而是充满全室断面，所以这种洁净室不是靠洁净气流对室内脏空气的掺混稀释作用，而是靠洁净气流推出作用将室内脏空气沿整个断面排至室外，达到净化室内空气的目的。所以，前联邦德国有人称单向流洁净室的气流为活塞流、平推流前苏联称之为被挤压的弱空气射流。干净空气就好比一个空气活塞，沿着房间这个气缸，向前（下）推进，而使尘粒只能前（下）进，没有返回，山东净化工程把原有的含尘浓度高的空气挤压出房间。

湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在*密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，山东净化工程湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面*难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，山东净化工程又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产*佳温度范围为3545%。